beat365正版唯一官网芯片数字化生产技术研究中心聚焦物联网、人工智能、生命健康等产业相关的多批次、小批量芯片的快速和经济生产所需的装备研制和工艺开发；通过探索新的光刻原理和技术，研制产率和精度双突破的无掩模曝光机满足芯片数字化生产的需要。中心将携手产业界，努力提高后摩尔时代芯片的集成度和社会渗透度。