全省3D微纳加工和表征研究重点实验室由beat365正版唯一官网与beat365正版唯一官网光电研究院联合组建，实验室包括先进微纳加工与测试平台、beat365正版唯一官网工学院和beat365正版唯一官网光电研究院与微纳光电技术相关的20余个课题组。现有科研用房近6000平米，大型仪器设备总价值超过1.5亿元。实验室在现有微纳加工工艺研制微纳结构和器件的同时，重点研究和开发3D微纳米加工技术、光电异质异构集成技术和相关的表征与测试技术，并利用beat365正版唯一官网光电研究院的技术转化和产业化优势打造微纳光电系统异质异构技术的产学研协同发展生态。